游艇会yth光电所开发的光束稳定系统具有独立自主知识产权


，系统主要基于对激光束的两个位置点采样,实现空间上4个自由度的调节

，通过位置探测器PSD反馈位置误差信号来控制Nanomotor,从而实现保持光束位置的恒定

。系统分为两类：科研级光束稳定系统（型号




：S-LBS1000-R）和工业级光束稳定系统（型号S-LBS1000-I）），其中前者基于公司自主研发和生产的Nanomotor压电纳米位移促动器SNM01，后者基于公司自主研发和生产的快速直接压电驱动镜架SNM03
，响应速度比科研级光束稳定系统所用的Nanomotor快10倍。由于Nanomotor的体积小

，分辨率高，失电位置保持的特性使得Nanomotor非常的适合于此类光学系统的调节，另外Nanotomotor还可以应用于真空





、紫外等应用环境
。目前



，Nanomotor正被广泛用于控制激光的指向漂移，能够显著提升系统的准确性，其应用范围包括半导体晶圆在生产制造过程中的测量
、曝光控制、光束跟随等。同时也广泛应用在科研领域
，如激光腔镜调节、晶体相位匹配
、晶体腔内移位、偏振元件调节、薄膜测量系统，晶圆图案检测等

















。

                                             光束稳定系统（科研级）

                                             光束稳定系统（科研级）软件控制界面

                                   光束稳定系统（工业级）

光束稳定系统（工业级）软件控制界面

    光束稳定系统的总体布局如图，在这个系统中，激光束经过两个反射镜M₁和M₂到达工作区域

，每一个反射镜架装有两个实时调节位置的Nanomotor。同时，在光路中插入两个分光片
，每一片分光片分别将少部分光反射到位置探测器PSD1和PSD2的光敏面上
。理想状态下

，PSD1所测光束应与M₂反射镜上的光斑为物象关系
，PSD1给出的信号用以控制M₁反射镜，从而保证光斑在M₂上的位置为恒定
。光斑位置固定以后，M₂镜架用于调整激光光束指向


，PSD2用于检测光束偏差后
，驱动M₂

，确保光束输出位置居中
。两个PSD互为参照点


，从而在空间中确定一条直线
，即输出光束被稳定在一条直线上

，实现光束指向和位置的恒定不变


。